- Home
-
Produk
- Produk dan pengenalan teknologi
- Katalis suhu rendah basis oksida logam untuk reduksi polusi udara
- Katalis basis oksida non logam untuk reduksi polusi udara
- Adsorben kimia penyaring gas beracun pada industri
-
Adsorben kimia basis oksida
logam / karbonasi aktif impregnasi - Adsorben kimia basis zeolit
- Sistem Bio-care
- Perusahaan
- Contact
- Download
gnb_bg
- HOME
- Products
Area penerapan
Proses implant ion(ion implant), proses pengabuan(ashing), proses epi, proses pengendapan uap kimia(CVD), penyaring gas asam seperti HCl, HF, HBr, BCl3 dan lain-lain
Kekhususan produk
- Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)
- Color : Brown
- Bulk density : 0.6~0.7g/cc
- Crush strength : > 4kgf/㎠
- Upper temp. limit : < 100℃
Appearance
Mekanisme reaksi
| Gas | Mechanism | TLV (ppm) |
|---|---|---|
| BCl3 | BCl3 + 3MOH → 3MCl + B(OH)3 | 5 |
| BCl3 + 3MO(OH) → 3MOCl + B(OH) | ||
| HBr | 2HBr + M(OH)2 → MBr2+ 2H2O | 3 |
| HCl | 3HCl + MO(OH) →MCl3 + 2H2O | 5 |
| HF | 6HF + M2O3 → 2MF3 + 3H2O | 3 |
| SiH4 | SiH4 + 2MOH →M2Si + 2H2O + H2 | 5 |