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Model : HS-PA
适用领域
- 半导体、半导体材料、显示器（LCD,LED chip, OLED）、太阳能光电板、燃料电池及二次电池、精密材料配件、精密化学材料等生产工艺现场
- 生产工艺中需要使用酸性或碱性气体装备的工作现场
产品特点
- Model: HS-PA
- 对生产半导体及精密化学材料工艺中产生的有害气体进行吸附去除；维护保修生产装备时，将残留的有害气体进行吸附处理，从而保证作业人员的人身安全；针对生产装备连接安装时发生紧急情况时，以及装备内残留的有害气体进行吸附处理并排放。由韩素（株）自主开发的化学吸附剂，将生产工艺中产生的酸性及碱性有毒气体通过化学吸附安全有效地处理。
移动式去除有害气体装置规格参数表
Item |
Description |
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|---|---|---|
Blower Gas flow |
Max 5 m3 /Hr., Adjustable |
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Dimensions |
Overall |
W 450mm x D 470mm x H 500mm |
Weight |
40 Kg |
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Canister |
Remove Gas |
HCl, Cl2, HF, BCl3, VOCs |
Volume |
1.0 liter(2set) |
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Battery |
24VDC, 13,600mAh |
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Electrical |
Single Phase:100~230 V, 50/60 Hz, 60 W |
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