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GREEN WORLD WITH HANSO

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Application Field

확산(Diffusion)공정, 화학증착(CVD)공정 등, NH3, TMA, Amino-silane 등 염기성가스 제거용

Characteristic

  • Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)
  • Color : Light brown
  • Bulk density : 0.8g/cc
  • Crush strength : > 4.0kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 100℃

Appearance

Reaction Mechanism

Gas Mechanism TLV (ppm)
NH3 4NH3 + MSO4 →M(NH3)4SO4 25
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