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GREEN WORLD WITH HANSO

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Application Field

확산(Diffusion)공정, 화학증착(CVD)공정 등, H2S, H2Se, PH3, AsH3 등 가스제거용

Characteristic

  • Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)
  • Color : Light blue
  • Bulk density : 0.8g/cc
  • Crush strength : > 2.0kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 50℃

Appearance

Reaction Mechanism

Gas Mechanism TLV (ppm)
H2S Cu(OH)2 + H2S → CuHS + 2H2O 5
2Cu(OH)2 + H2S → Cu2S + 4H2O
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