- Nhà
-
Nhóm sản phẩm
- Khái quát sản phẩm và công nghệ
- Chất xúc tác nhiệt độ thấp làm giảm ô nhiễm không khí dựa trên oxit kim loại
- Chất xúc tác dùng để làm giảm ô nhiễm không khí dựa trên oxit phi kim
- Chất hấp phụ hóa học dùng để loại bỏ khí thải công nghiệp độc hại
- Chất hấp phụ hóa học dựa trên than hoạt tính được ngâm tẩm/oxit kim loại
- Chất hấp phụ hóa học dựa trên zeolit
- Hệ thống chăm sóc sinh học
- Thông tin công ty
- Liên hệ
- Download
gnb_bg
- HOME
- Nhóm sản phẩm
Lĩnh vực ứng dụng
Dùng để loại bỏ các khí như HCl, HF, HBr, BCl3 quá trình cấy ion(Ion Implant), quá trình ashing, quá trình Epi, quá trình lắng đọng hóa học (CVD)
Đặc tính sản phẩm
- Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)
- Color : Brown
- Bulk density : 0.6~0.7g/cc
- Crush strength : > 4kgf/㎠
- Upper temp. limit : < 100℃
Appearance
Cơ chế phản ứng
| Gas | Mechanism | TLV (ppm) |
|---|---|---|
| BCl3 | BCl3 + 3MOH → 3MCl + B(OH)3 | 5 |
| BCl3 + 3MO(OH) → 3MOCl + B(OH) | ||
| HBr | 2HBr + M(OH)2 → MBr2+ 2H2O | 3 |
| HCl | 3HCl + MO(OH) →MCl3 + 2H2O | 5 |
| HF | 6HF + M2O3 → 2MF3 + 3H2O | 3 |
| SiH4 | SiH4 + 2MOH →M2Si + 2H2O + H2 | 5 |