About Products

Lĩnh vực ứng dụng

Dùng để loại bỏ các khí như Cl2, F2 quá trình cấy ion(Ion Implant), quá trình ashing, quá trình Epi, quá trình lắng đọng hóa học (CVD)

Đặc tính sản phẩm

  • Appearance & Size : Pellet (ø=2.2, more)
  • Color : White
  • Bulk density : 0.6~0.7g/cc
  • Crush strength : > 2.0kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 100℃

Appearance

Cơ chế phản ứng

Gas Mechanism TLV (ppm)
Cl2 Cl2 + 2MOH → 2MCl + H2O + 1/2O2 1
Cl2 + M(OH)2 → MCl2 + H2O + 1/2O2