- Nhà
-
Nhóm sản phẩm
- Khái quát sản phẩm và công nghệ
- Chất xúc tác nhiệt độ thấp làm giảm ô nhiễm không khí dựa trên oxit kim loại
- Chất xúc tác dùng để làm giảm ô nhiễm không khí dựa trên oxit phi kim
- Chất hấp phụ hóa học dùng để loại bỏ khí thải công nghiệp độc hại
- Chất hấp phụ hóa học dựa trên than hoạt tính được ngâm tẩm/oxit kim loại
- Chất hấp phụ hóa học dựa trên zeolit
- Hệ thống chăm sóc sinh học
- Thông tin công ty
- Liên hệ
- Download
gnb_bg
- HOME
- Nhóm sản phẩm
Lĩnh vực ứng dụng
Dùng để loại bỏ các khí như SiH4, quá trình cấy ion(Ion Implant), quá trình ashing/etching, quá trình Epi, quá trình lắng đọng hóa học (CVD)
Đặc tính sản phẩm
- Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)
- Color : Purple
- Bulk density : 0.70~0.75g/cc
- Crush strength : > 2.0kgf/㎠
- Upper temp. limit : < 100℃
Appearance
Cơ chế phản ứng
| Gas | Mechanism | TLV (ppm) |
|---|---|---|
| SiH4 | SiH4 + 2MOH → M2Si + 2H2O + H2 | 5 |