Area penerapan
Proses PFCs tersisa(perfluorokarbon seperti NF3, CHF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8 dan lainnya) yang berasal dari prosedur manufaktur semi konduktor, proses manufaktur TFTLCD, proses manufaktur sel surya film tipis(thin film solar cells) silikon nonkristal dan sebagainya
Kekhususan produk
Appearance
Mekanisme reaksi
Gas | Mechanism |
---|---|
NF3, CHF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8 | XFn + M → MF + XO(XO2) |
XFn + H2O → HF + XO(XO2) |
PFC Destruction – Effects of PFC