Area penerapan
Proses perluasan(diffusion), proses pengendapan uap kimia(CVD), penyaring gas seperti NH3, TMA, Amino-silane dan sebagainya
Kekhususan produk
Appearance
Mekanisme reaksi
Gas | Mechanism | TLV (ppm) |
---|---|---|
NH3 | 4NH3 + MSO4 →M(NH3)4SO4 | 25 |