- Home
-
Produk
- Produk dan pengenalan teknologi
- Katalis suhu rendah basis oksida logam untuk reduksi polusi udara
- Katalis basis oksida non logam untuk reduksi polusi udara
- Adsorben kimia penyaring gas beracun pada industri
-
Adsorben kimia basis oksida
logam / karbonasi aktif impregnasi - Adsorben kimia basis zeolit
- Sistem Bio-care
- Perusahaan
- Contact
- Download
gnb_bg
- HOME
- Products
Area penerapan
Proses implant ion(ion implant), proses pengabuan(ashing), proses epi, proses pengendapan uap kimia(CVD), penyaring gas SiH4 dan lain-lain
Kekhususan produk
- Appearance & Size : Pellet (ø=3.0, more)
- Color : Purple
- Bulk density : 0.70~0.75g/cc
- Crush strength : > 2.0kgf/㎠
- Upper temp. limit : < 100℃
Appearance
Mekanisme reaksi
| Gas | Mechanism | TLV (ppm) |
|---|---|---|
| SiH4 | SiH4 + 2MOH → M2Si + 2H2O + H2 | 5 |