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Cold Trap
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- 진공 펌프 뒷단 혹은 스크러버 전단에 설치하여 응축성 부산물 제거 장치
- 반도체 / Display 및 태양광 제조 산업 (SiNx, TiNx, 모든 응축성 물질 발생 공정)
- 진공관련 장비 제조 산업
- 스크러버 일체 / 연동형 장비 제조 산업
Characteristic
- 설계의 최적화로 최대의 포집 효과와 배출되는 물질의 최소화
- 플랜지 장착(KF etc.)으로 인한 간단한 설치 및 실용성
- 각종 이물질 유입 방지
- 질소 purge 가스의 사용 절감
- 펌프 뒷 배관 및 스크러버의 수선비 절감으로 공정 운영비 감소
Specification
구 분 |
내 용 |
|
|---|---|---|
일반 사양 |
Model |
CT |
재질 |
SUS304 |
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사이즈 (liter) |
30, 40, 60, >100 |
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주요 기능 |
공정 중 발생하는 부산물과 잔류 가스 등의 물질 제거로 진공펌프와 스크러버의 MTBF 증대 |
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펌프의 역압 방지와 펌프 뒷배관 막힘 방지 |
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스크러버 인입부 막힘 방지 |
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주요 적용 사례 |
Diffusion SiN, TiNx, F CVD, ALDs Bosch & metal Etch, 등 모든 응축성 물질 발생 공정 |
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