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Tilt Mesh
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Applications
- 진공 펌프 전단의 H-Leg 내부에 설치하여, 부산물 등의 응축 및 반응성 증가에 따른 효율적인 분리 및 포집을 통해 펌프의 MTBF 증대
- 반도체 / Display 및 태양광 제조 산업
- 진공관련 장비 제조 산업
Characteristic
- 공정상에 발생하는 Macro type의 낙성 powder 의 포집 효과 탁월
- 주기적인 서비스의 용이함
Specification
구 분 |
내 용 |
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|---|---|---|
일반 사양 |
Model |
TM |
재질 |
SUS304 |
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사이즈 |
160 Ø |
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주요 기능 |
낙성 물질의 운동성 조절, 펌프 전단 설치로 물질 제거 극대화 |
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진공의 배기 성능을 유지하기 위한 conductance 설계 |
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가스 흐름의 최대 Path 확보를 위한 설계로 포집 효과 극대화 |
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주요 적용 사례 |
반도체 공정상의 주요 Harsh processes (CVD, DIFF, Etch) 등 |
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