Applications
Characteristic
Specification
구 분 |
내 용 |
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---|---|---|
일반 사양 |
스크러버 방식 |
Multipurpose Wet / Hybrid Scrubbing |
가스처리용량 |
100~500LPM |
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사이즈 |
300x300x600mm |
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운전 성능 |
처리 가스 |
HCl, HF, Cl₂, BCl₃, AsH₃, PH₃, HBr, POCl₃, NH₃, SiH₄, GeH₄, 폭발성 금속 가루 등 대용량 제거 장치 |
가스 처리효율 |
99% 이상 |