Applications
Characteristic
Specification
구 분  | 
									내 용  | 
								|
|---|---|---|
일반 사양  | 
                                  스크러버 방식  | 
                                  Multipurpose Wet / Hybrid Scrubbing  | 
                                
가스처리용량  | 
                                  100~500LPM  | 
                                |
사이즈  | 
                                  300x300x600mm  | 
                                |
운전 성능  | 
                                  처리 가스  | 
                                  HCl, HF, Cl₂, BCl₃, AsH₃, PH₃, HBr, POCl₃, NH₃, SiH₄, GeH₄, 폭발성 금속 가루 등 대용량 제거 장치  | 
                                
가스 처리효율  | 
                                  99% 이상  | 
                                |