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Magic Catcher
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- 진공 펌프 전/후단에 설치하여, 낙성 물질 및 미반응물질 제거 및 포집
- 펌프 뒷단 및 스커러버 서비스 및 유지보수 최소
- 반도체 제조 산업
- 진공관련 장비 제조 산업
Characteristic
- 공정 중 발생하는 부산물과 잔류 가스 등의 물질 제거로 진공 펌프의 MTBF 증대
- 배관 내부의 물질 관리에 따른 Foreline 서비스가 불필요 하게되어 비용 절감과 장비 가동율 향상
Specification
구 분 |
내 용 |
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|---|---|---|
일반 사양 |
Model |
MC |
재질 |
SUS304 |
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사이즈 (liter) |
10 (서비스 주기나 용도에 따라 다른 크기 가능) |
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주요 기능 |
분진성 및 덩어리성의 낙성 물질 제거로 펌프의 단주기 문제발생을 방지 |
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사용 중에도 공정에 따른 진공의 배기 성능을 유지하기 위한 conductance 설계 |
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내부 기체 유속 조정으로 분진 제거 최대 효과 |
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가스 흐름 경로를 최대화하여 미 반응 물질의 반응 및 포집을 극대화 |
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주요 적용 사례 |
반도체 공정상의 TEOS, BPSG, PSG, HARP, SiONx, SiNx, F CVD, PE CVD, DIFF, 등 |
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