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Kinetic Buffer
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Applications
- 진공 펌프 전단에 설치하여, 각종 이물질의 직낙하 방지 및 낙성 에너지 조절에 따른 펌프의 MTBF 증대
- 반도체 / Display 및 태양광 제조 산업
- 진공관련 장비 제조 산업
- 다양한 산업현장(범용)
Characteristic
- 공정 중 발생하는 Macro type의 낙성 powder 와 Micro type의 분진 등을 유속 및 에너지를 효과적으로
- 조절하여 vacuum pump의 MTBF 증대
- 다양한 디자인으로 공간 효율 최적화
- 주기적인 내부 서비스 불 필요
Specification
구 분 |
내 용 |
|
|---|---|---|
일반 사양 |
Model |
KB |
재질 |
SUS304 |
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사이즈 (Inlet) |
100, 160, 200 |
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주요 기능 |
Foreline에서 이물질의 직낙하 방지 효과로 펌프 수명 연장 |
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진공의 배기 성능을 유지하기 위한 conductance 설계 |
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최소의 장치로 낙성 물질의 운동성 최소화 |
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주요 적용 사례 |
반도체 공정상의 고체성 부산물이 생성되는 Harsh processes (CVD, DIFF, Etch) 등 |
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