- Nhà
-
Nhóm sản phẩm
- Khái quát sản phẩm và công nghệ
- Chất xúc tác nhiệt độ thấp làm giảm ô nhiễm không khí dựa trên oxit kim loại
- Chất xúc tác dùng để làm giảm ô nhiễm không khí dựa trên oxit phi kim
- Chất hấp phụ hóa học dùng để loại bỏ khí thải công nghiệp độc hại
- Chất hấp phụ hóa học dựa trên than hoạt tính được ngâm tẩm/oxit kim loại
- Chất hấp phụ hóa học dựa trên zeolit
- Hệ thống chăm sóc sinh học
- Thông tin công ty
- Liên hệ
- Download
gnb_bg
- HOME
- Nhóm sản phẩm
Lĩnh vực ứng dụng
Công đoạn chế tạo chất bán dẫn, công đoạn sản xuất TFT-LCD, xử lý chất tồn đọng PFCs(các hóa chất như NF3, CHF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8) phát sinh trong quá trình chế tạo xử lý màng mỏng silicon không kết tinh pin mặt trời và nguồn phát sinh khác
Đặc tính sản phẩm
- Appearance & Size : Granules (4x8 mesh)
- Color : Dark navy
- Bulk density : ~0.4g/cc
- Crush strength : > 4.0 kgf/㎠
- Recomm. operating temp. : 400~800℃
- Upper temp. limit : < 1,000℃
Appearance
Cơ chế phản ứng
| Gas | Mechanism |
|---|---|
| NF3, CHF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8 | XFn + M → MF + XO(XO2) |
| XFn + H2O → HF + XO(XO2) |
PFC Destruction – Effects of PFC
