About Products

Lĩnh vực ứng dụng

Dùng để loại bỏ các khí như NH3,TMA, Amino-silane, quá trình khuếch tán (Diffusion), quá trình lắng đọng hóa học (CVD)

Đặc tính sản phẩm

  • Appearance & Size : Pellet (ø=4.0, more)
  • Color : Light brown
  • Bulk density : 0.8g/cc
  • Crush strength : > 4.0kgf/㎠
  • Upper temp. limit : < 100℃

Appearance

Cơ chế phản ứng

Gas Mechanism TLV (ppm)
NH3 4NH3 + MSO4 →M(NH3)4SO4 25