Lĩnh vực ứng dụng
Dùng để loại bỏ các khí như NH3,TMA, Amino-silane, quá trình khuếch tán (Diffusion), quá trình lắng đọng hóa học (CVD)
Đặc tính sản phẩm
Appearance
Cơ chế phản ứng